电子与信息工程学院全自动临界点干燥仪采购项目
· 2022-10-13
| 电子与信息工程学院全自动临界点干燥仪采购项目 | |
| 项目所在采购意向： | 中山大学2022年11至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中山大学 |
| 采购项目名称： | 电子与信息工程学院全自动临界点干燥仪采购项目 |
| 预算金额： | 57.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A032103电子工业专用生产设备 |
| 采购需求概况： | 全自动临界点干燥仪， 数量：1套。 该设备用于MEMS等类似的悬空结构释放后的超临界点干燥，实现无表面应力的干燥过程。技术要求：1 样品室需可放置至少1英寸晶圆，样品室设计中顶部和前部有视窗，螺旋盖封闭设计，带有探测器；如样品室未关牢，系统会自动报警。2 自动控制：样品室温度、二氧化碳灌注速率、置换速率、样品室加热速率、二氧化碳出气速率都由用户预先设定。用户可编程存储，有效提高重复性。3 温度控制范围：制冷5－25℃可调，加热30－40℃可调，最大允许45℃4 压强范围：1－80bar可调，最大安全压强95bar（20℃时）5 二氧化碳灌注速率，置换速率，加热速率，出气速率可调。6 具有延时预约功能。7 系统自动计算所需时间，程序完成后报警提示。8二氧化碳气瓶内气体用完，系统会自动报警提示，关闭阀门。9 废气处理：带有环保废气分离装置，容积2L。交付时间要求：180天；交付地点要求：中山大学东校区；售后服务要求（含培训）：免费保修期2年，卖方在到货后一周内派专业工程师赴现场安装，调试及安全培训。 |
| 预计采购时间： | 2022-11 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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